RSF/RKF系列是將精密控制用減速機Harmonic Drive®和AC伺服電動機組合而成的小型、高轉(zhuǎn)矩、高旋轉(zhuǎn)精度的AC伺服傳動裝置。
通過與充分發(fā)揮AC伺服傳動裝置性能的專用AC伺服驅(qū)動器組合,實現(xiàn)了高旋轉(zhuǎn)精度,小型化的機械裝置。
· 小型、輕量
· 大功率
· 高定位精度和高旋轉(zhuǎn)精度
用途]
· 半導(dǎo)體制造設(shè)備
· 液晶制造設(shè)備
· 電子部件組裝裝置
檢查計測裝置等
采用扁平形狀、中空孔構(gòu)造,F(xiàn)HA-C實現(xiàn)了機械、裝置小型化、構(gòu)造簡單化。 |
|
|
|
|
· 薄型、小巧 · 中空結(jié)構(gòu) · 高轉(zhuǎn)矩、高剛性、高精度 · 內(nèi)置剛性性能優(yōu)異的支撐裝置 · 具有多種控制功能的控制單元也已系列化
· 機床 : 轉(zhuǎn)塔刀分度、分度盤、裝載機 · 機器人 : 旋轉(zhuǎn)、關(guān)節(jié)驅(qū)動部 · 半導(dǎo)體制造設(shè)備 : 搬運機器人、檢查平臺 · 液晶制造設(shè)備 : 搬運機器人、檢查平臺、感光劑涂抹輥驅(qū)動 · 印刷機 : 感光劑涂抹輥驅(qū)動 |