半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)中基礎(chǔ)性、關(guān)鍵性和戰(zhàn)略性的產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)體檢測(cè)從設(shè)計(jì)驗(yàn)證到最終測(cè)試都不可或缺,貫穿整個(gè)半導(dǎo)體制造過程,具有無法替代的重要地位。
半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備的核心功能是用來檢測(cè)晶圓制造和芯片成品的質(zhì)量,輔助降本、提高良率和增強(qiáng)客戶的訂單獲取能力。
半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備作用于集成電路全過程:
根據(jù)Gartner 數(shù)據(jù)顯示,2020 檢測(cè)設(shè)備全球市場(chǎng)規(guī)模約 131 億美元,中國(guó)半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模 176 億元。
作為全球的集成電路市場(chǎng),中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)隨著5G、電動(dòng)汽車等的快速發(fā)展持續(xù)增長(zhǎng),為半導(dǎo)體測(cè)試需求帶來增量空間。
2020-2021全球GDP和IC市場(chǎng)增量(%):
資料來源:IC Insights
廣義上的半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備,分為前道量測(cè)(又稱半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備)和后道測(cè)試(又稱半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備)。
半導(dǎo)體設(shè)備占整線投資的80%左右;半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備占半導(dǎo)體專用設(shè)備17%左右,其中前道量測(cè)設(shè)備占比8.5%左右,后道測(cè)試設(shè)備占比8.3%左右。
前道量檢測(cè)主要用于晶圓加工環(huán)節(jié),目的是檢查每一步制造工藝后晶圓產(chǎn)品的加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計(jì)的要求或者存在影響良率的缺陷,屬于物理性的檢測(cè)。
后道測(cè)試設(shè)備主要是用在晶圓加工之后、封裝測(cè)試環(huán)節(jié)內(nèi),目的是檢查芯片的性能是否符合要求,屬于電性能的檢測(cè)。
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