系統(tǒng)自身的故障診斷和故障定位功能。一般的CNC系統(tǒng)或多或少都具有自診斷功能，尤其是現(xiàn)代的CNC系統(tǒng)，這些自診斷功能主要是用軟件來實(shí)現(xiàn)。具有此功能的CNC系統(tǒng)，可以在故障出現(xiàn)后迅速查明故障的類型及部位，減少故障停機(jī)時(shí)間。通常不同的CNC裝置所設(shè)置的診斷程序不同，可以包含在系統(tǒng)程序之中，在系統(tǒng)運(yùn)行過程中進(jìn)行檢查，也可以作為服務(wù)性程序，在系統(tǒng)運(yùn)行前或故障停機(jī)后進(jìn)行診斷，查找故障的部位，有的CNC裝置可以進(jìn)行遠(yuǎn)程通訊診斷。