在線參數(shù)測(cè)試的4個(gè)主要子系統(tǒng)為：（1）探針卡接口:是自動(dòng)測(cè)試儀與待測(cè)器件之間的接口。日本HD精密定位諧波CSF-32-50-2A-GR（2）硅片定位:為測(cè)試硅片，首先要確與探針接觸的硅片的探針儀位置。（3）測(cè)試儀器:集成電路需要能夠在測(cè)試結(jié)構(gòu)上快速、準(zhǔn)確、重復(fù)地測(cè)量亞微安級(jí)電流和微法級(jí)電容的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備，它控制測(cè)試過(guò)程（4）作為網(wǎng)絡(luò)主機(jī)或客戶(hù)機(jī)的計(jì)算機(jī):日本HD精密定位諧波CSF-32-50-2A-GR導(dǎo)測(cè)試系統(tǒng)操作的計(jì)算機(jī)包括測(cè)試軟件算法、自動(dòng)測(cè)試設(shè)備、用于硅片定位的探查控制軟件、測(cè)試數(shù)據(jù)的保存和控制、系統(tǒng)校準(zhǔn)和故障診斷。

硅片揀選測(cè)試中的三種典型電學(xué)測(cè)試：（1）DC測(cè)試:電學(xué)測(cè)試是確保探針和壓焊點(diǎn)之日本HD精密定位諧波CSF-32-50-2A-GR間良好電學(xué)接觸的連接性檢查。這項(xiàng)檢查保證了技術(shù)員的測(cè)試儀安裝正常。